FAKIR

FAKIR ist ein System für das schnelle Messen von Schichtwiderständen von Wafern bis zu einer Größe von 6 Zoll (150 mm). Im Gegensatz zu anderen Methoden kommt dabei nicht nur ein abtastender Sensorkopf zum Einsatz, sondern mehr als einhundert flexibel justierbare Sensorköpfe. Damit ist das Verfahren bis zu zehn mal schneller als herkömmliche Systeme. Hinzu kommt die passende benutzerfreundliche Software, die neben den Messergebnissen auch die optimale Anzahl an Messpunkten ermittelt.

Technische Spezifikation

• Maximale Anzahl Messpunkte: 128
• Maximale Wafergröße: 150 mm (rechteckig und kreisförmig)
• Nadelkraft: 0,4-1,3 N pro justierbarer Nadel
• Messreichweite: 100 mΩ/sq. bis 120 MΩ/sq